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采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了平膜型硅隔离(SOI)耐高温压阻力敏硅芯片,采用静电键合工艺将该力敏硅芯片封装在硼硅玻璃......
静电放电严重影响砷化镓器件的可靠性,为了提高砷化镓相关多普勒放大器(简称相关多放)的抗静电能力,设计了一种硅隔离和双二极管网......
Netminder是一种水性的硅胶隔离涂层,它在美同纽约州的一个大规模扇贝资源恢复计划中,在海湾扇贝的养成及越冬期间,对减少扇贝养成网......
提出采用离子注入方法提高主掩膜光刻胶的耐干法腐蚀和腐蚀窗口硅的腐蚀速率,实现了在比较简陋的干法腐蚀设备上采用反应离子腐蚀模......
采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了平膜型硅隔离(SOI)耐高温压阻力敏硅芯片,采用静电键合工艺将该力敏硅芯片封装在硼硅玻璃环上,......
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应用氧离子注入(Separation by Implantation of Oxygen)SIMOX技术,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离(SOI)压力敏感元......